新一代燃烧式Local Scrubber尾气处理设备
新型薄膜太阳能光伏、液晶TFT-LCD薄膜CVD制程专用燃烧式尾气处理设备。
NITSU新型燃烧式薄膜CVD制程尾气处理设备, 为日本『木麒制作所』KIKI SEISAKUSYO累积多年经验及制作研发上的深厚基础上, 参酌世界安全规范, 评鉴过往美日业界同类型机发展的得失后, 开发出近年来最适用于非晶硅薄膜太阳能电池、新世代液晶显示器等PECVD制程尾气处理的新型燃烧式处理设备。
NITSU燃烧式尾气处理设备的用途
可处理气体种类包括非晶硅薄膜太阳能电池、新世代液晶显示器等PECVD制程中产生的废气。
NITSU燃烧式尾气处理设备的主要特点
1. 全机整体新思维安全设计, 高安全标准自我诊断异常及意外预防应对规格, 同时通过了德国TUVSEMI S2,
SEMI S8, EN 60204-1: 2006认证。
2．独特涡流火焰燃烧器, 拥有处理量特大﹑处理效率优异﹑及长时间运转之稳定信赖性。
3．CH4﹑C3H8双燃料机型, 具燃料节约控制设计, 符合经济节能与环保要求。
4．良好机械架构设计与人机界面程序, 操作容易上手、停机保养频率低、保养简单快速、零料件经久耐用等众多优点.
5．燃烧反应室可定时自动清洁, 长时间运转效率稳定, 特别适合应用于非晶硅薄膜太阳能电池、大尺寸液晶生产等之高SiH4、 PH3及NF3、SF6气体使用, 并大量产出SiO2、P2O5易衍生粉尘堆积及大量高浓度HF酸腐蚀气体的PECVD制程尾气处理。
NITSU优质的客户服务
日本木麒制作所提供薄膜太阳能电池及新世代液晶PECVD的尾气处理系统, 主要包括有:
(1) 荣获德国TUV 认证的新型燃烧式CVD尾气处理设备 NITSU
(2) 集中处理型弹匣式过滤材粉尘集尘机Cartridge Filter type Particle Collector
(3) 集中处理型酸排气水洗处理设备Central Wet Scrubber
上海怀利环保设备有限公司荣获 Kiki 日本木麒原厂技术认证授权, 专注服务大中华区所有薄膜太阳能电池及大尺寸液晶TFT-LCD制造厂客户, 提供系统设备自规划、选机、承包施工、安装试车及全年保养维修、充裕零料件完整库存的全面性整体专业服务。