上海怀利荣获日本木麒制作所
燃烧式Local Scrubber废气处理设备
大中华区总代理
上海怀利荣获日本木麒制作所燃烧式Local Scrubber废气处理设备大中华区总代理。
为满足国内光伏产业的发展，上海怀利环保设备有限公司正式与日本木麒制作所KIKI SEISAKUSYO合作，将木麒制作所多年来专注于大尺寸平面显示器及先进薄膜太阳能电池PECVD制程尾气处理的服务与设备发展的经验，正式引进国内，针对中国快速反战的薄膜太阳能电池光伏产业，及新世代TFT-LCD液晶平面显示器行业，提供优质的薄膜PECVD制程尾气处理设备及整体系统售后服务。
NITSU新型燃烧式薄膜CVD制程尾气处理设备, 为日本『木麒制作所』Kiki SEISAKUSYO累积多年经验及制作研发上的深厚基础上, 参酌世界安全规范, 评鉴过往美日业界同类型机发展的得失后, 开发出近年来最适用于非晶硅薄膜太阳能电池、新世代液晶显示器等PECVD制程尾气处理的新型燃烧式处理设备。
NITSU燃烧式尾气处理设备的用途
可处理气体种类包括非晶硅薄膜太阳能电池、新世代液晶显示器等PECVD制程中产生的废气。
NITSU燃烧式尾气处理设备的主要特点：
1. 全机整体新思维安全设计, 高安全标准自我诊断异常及意外预防应对规格，同时通过了德国TUVSEMI S2, SEMI S8, EN 60204-1: 2006认证。
2．独特涡流火焰燃烧器, 拥有处理量特大﹑处理效率优异﹑及长时间运转之稳定信赖性。
3．CH4﹑C3H8双燃料机型, 具燃料节约控制设计, 符合经济节能与环保要求。
4．良好机械架构设计与人机界面程序, 操作容易上手、停机保养频率低、保养简单快速、零料件经久耐用等众多优点.
5．燃烧反应室可定时自动清洁, 长时间运转效率稳定, 特别适合应用于非晶硅薄膜太阳能电池、大尺寸液晶生产等之高SiH4、 PH3及NF3、SF6气体使用, 并大量产出SiO2、P2O5易衍生粉尘堆积及大量高浓度HF酸腐蚀气体的PECVD制程尾气处理。
NITSU优质的客户服务
日本木麒制作所提供薄膜太阳能电池及新世代液晶PECVD的尾气处理系统, 主要包括有:
(1) 荣获德国TUV 认证的新型燃烧式CVD尾气处理设备NITSU
(2) 集中处理型弹匣式过滤材粉尘集尘机Cartridge Filter type Particle Collector
(3) 集中处理型酸排气水洗处理设备 Central Wet Scrubber
上海怀利环保设备有限公司荣获 Kiki 日本木麒原厂技术认证授权, 专注服务大中华区所有薄膜太阳能电池及大尺寸液晶TFT-LCD制造厂客户, 提供系统设备自规划、选机、承包施工、安装试车及全年保养维修、充裕零料件完整库存的全面性整体专业服务。